一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构

摘要

本实用新型公开了一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构，其特征是，包括自下而上顺序叠接的二氧化硅基底、低折射率缓冲层、低折射率介质包层和金属Ag纳米带顶层，所述低折射率缓冲层中设有对称掩埋的第一纳米线和第二纳米线，第一纳米线和第二纳米线之间刻蚀有低折射率介质连通间隙。这种波导结构能够提高更强的局域化约束，具备为表面等离子激励电路提供基本单元器件，从而实现更大的带宽超快数据传输。