一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路

摘要

本实用新型公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端，MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端；电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端；PI控制器电路的输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端，实现了全部控制系统的单片集成，无需外部分立器件，结构更简单，功耗、噪声更低的技术效果。