法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-26
专利权的保全 IPC(主分类):B01J8/22 授权公告日:20171031 登记生效日:20190121 申请日:20170223
专利权的保全及其解除
2017-10-31
授权
授权
机译: 气体分布装置,用于在包层空间内分布酸性气体,例如容器,具有冲击元件,该冲击元件布置在分配孔处,使得从孔中抽出的气体流向液体润湿区域
机译: 用于调节分支呼吸气体管线中的呼吸气体混合物的气体流量分布的装置包括:气体定量给料管线,用于气体定量给料管线的气源,测控单元和显示单元
机译: 用于控制真空镀膜系统中磁控溅射时镀膜速率横向分布的装置,具有用于调节从气体通道段进入真空室的气体流量的气体调节单元,该气体调节单元被设置为致动器