公开/公告号CN103823169B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-25
原文格式PDF
申请/专利号CN201310668805.9
申请日2013-12-11
分类号
代理机构浙江翔隆专利事务所(普通合伙);
代理人张建青
地址 100031 北京市西城区西长安街86号
入库时间 2022-08-23 09:40:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-25
授权
授权
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/20 申请日:20131211
实质审查的生效
2014-05-28
公开
公开
机译: 带电粒子束的扫描辐照方法,带电粒子束设备,试验片观察方法和试验片加工方法
机译: 带电水冲洗机器人系统及变水方法
机译: 带电水冲洗机器人系统及变水方法