一种镀膜机中补正板的设置修正方法

摘要

本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种镀膜机中补正板的设置修正方法，其特征在于：所述设置修正方法至少包括以下步骤：使所述第一、第二补正板在高度方向上的设置位置具有高度差，即第一补正板位置高于第二补正板位置；使所述第一、第二补正板分别对所述第二蒸发源的两个初始遮挡角之间具有重叠区域，即使所述第二补正板部分遮挡住所述第一补正板对于所述第二蒸发源的遮挡角。本发明的优点是：避免了先后修正两个补正板时所存在的互相干扰问题，从而实现简单准确的补正板修正模式。