一种温度自补偿的差动式光纤光栅微位移传感器

摘要

一种温度自补偿的差动式光纤光栅微位移传感器，包括一号光纤光栅、二号光纤光栅、硬芯夹紧螺母、硬芯夹紧螺栓、圆形弹性膜片、一号端盖、二号端盖、一号弹簧、二号弹簧、一号外壳与二号外壳，硬芯夹紧螺母、硬芯夹紧螺栓、一号外壳、二号外壳上开设有同轴的、用以设置光纤光栅的凹槽，硬芯夹紧螺母、硬芯夹紧螺栓将圆形弹性膜片夹于其间，以使一、二号光纤光栅、圆形弹性膜片串联以同时作为弹性体，从而提高位移测量的分辨率和精度，可测0.1um的微小位移变化，改变圆形弹性膜片的厚度或是硬芯半径与圆形弹性膜片半径的比值可调整灵敏度和分辨率，还可通过弹簧的往复运动实现本传感器的可差动式往复运动，实现温度补偿与双向测量位移。