公开/公告号CN206364062U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江瑞丰光电有限公司;
申请/专利号CN201621471094.1
发明设计人 陈华;
申请日2016-12-29
分类号
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司;
代理人唐致明
地址 322009 浙江省金华市义乌苏溪镇苏福路126号
入库时间 2022-08-22 02:47:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-28
授权
授权
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置