一种超灵敏检漏仪在线校准系统

摘要

一种超灵敏检漏仪在线校准系统包括氦气瓶，氦气瓶内的气体经压力电动调节器、第一真空阀进入到蓝宝石微流量针阀的输入端，蓝宝石微流量针阀的输出端一方面经第二真空阀进入到薄膜真空规，薄膜真空规将数据传送到PLC控制器，蓝宝石微流量针阀的输出端另一方面依次经白金丝‑玻璃漏孔、第三真空阀、第一远传压力真空表、被检超灵敏检漏仪、第二远传压力真空表和第四真空阀形成的回路回到蓝宝石微流量针阀与第二真空阀的管路连接处，所述压力电动调节器、蓝宝石微流量针阀、远传压力真空表均与PLC控制器连接。本装置能够实现对超灵敏检漏仪实时、在线校准，并且测量范围宽，自动化水平高，提高了检漏仪的检测水平。