公开/公告号CN205907354U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 浦江和平真空镀膜有限公司;
申请/专利号CN201620836241.4
发明设计人 丁黎明;
申请日2016-08-03
分类号
代理机构北京轻创知识产权代理有限公司;
代理人谈杰
地址 322299 浙江省金华市浦江县前方大道168-2号
入库时间 2022-08-22 02:06:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/50 授权公告日:20170125 终止日期:20190803 申请日:20160803
专利权的终止
2017-01-25
授权
授权
机译: 调节人体真空室的装置-放置人体的物件
机译: 用于将板状制品安装在表面上的桌子,即真空夹紧台,具有在将元件从槽中抬起的过程中向上移动的行程元件,从而使放置在工作台表面上的板状制品受到元件的支撑
机译: 基板处理装置,从基板处理装置的真空吸入台脱离基板的方法,以及将基板放置到基板处理设备的真空吸入台上的方法