一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统

摘要

本实用新型公开了一种封闭式自体循环的碱性蚀刻液循环再生系统，它包括依次连接的蚀刻线（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）和子液罐（8），铜离子无损分离系统还连接有一提铜装置（9），蚀刻线（1）、中转母液罐、母液罐、铜离子无损分离系统（4）、再生子液罐（5）、配液罐（6）、过滤器（7）、子液罐（8）、提铜装置（9）上均设置有检测对应部件的检测仪，检测仪与控制器连接，控制器内设置有能将异常信息发给对应负责人的短消息模块。本实用新型的有益效果是：它具有药液回用率高、安全性能高的优点，实现了蚀刻液封闭式自体循环和平行式无损分离。