公开/公告号CN205795860U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 常州必达科生物科技有限公司;
申请/专利号CN201620581927.3
申请日2016-06-15
分类号
代理机构江苏圣典律师事务所;
代理人王玉国
地址 213022 江苏省常州市新北区华山中路26号
入库时间 2022-08-22 01:57:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
授权
机译: 多板除气模块,用于对晶片支撑板进行除气,即嵌入式晶片级球栅阵列,具有用于在真空室中移动暗盒的分度器,以及加热灯以加热嵌入式晶片级球栅阵列以进行除气
机译: 便携式体外多孔室,用于通过静电沉积在气液界面处暴露气载纳米材料
机译: 具有整体腔室模块的纵向嵌套式水力旋流器单元