公开/公告号CN103579037B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 SNU精度株式会社;
申请/专利号CN201310311671.5
申请日2013-07-23
分类号H01L21/66(20060101);G02B27/10(20060101);
代理机构11012 北京邦信阳专利商标代理有限公司;
代理人王昭林;毕长生
地址 韩国首尔市
入库时间 2022-08-23 09:40:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20160525 终止日期:20180723 申请日:20130723
专利权的终止
2016-05-25
授权
授权
2016-05-25
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20130723
实质审查的生效
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130723
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
2014-02-12
公开
公开
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