法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01T4/00 授权公告日:20160810 终止日期:20170304 申请日:20160304
专利权的终止
2016-08-10
授权
授权
机译: 一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的方法,一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的带电粒子束装置以及一种用于检查样品的多柱显微镜
机译: 一种自动将带电粒子束聚焦在样品的表面区域上的方法,该方法计算带电粒子束装置的图像的图像的一组会聚锐度值,以及用于成像样品的带电粒子束装置
机译: 一种图像形成设备,其特征在于,图像承载部件由带电装置和显影剂带电装置所带电。