一种用于测量单晶硅球密度差值的压力悬浮装置

摘要

本实用新型提出了一种测量单晶硅球密度差值的压力悬浮装置。所述压力悬浮装置包括：外壳主体(201)；隔离单元(203)，设置于所述外壳主体(201)内部，与外壳主体(201)顶面和底面固定连接，将外壳主体(201)所围成的腔体分成左右两个空间；升降单元(204)，所述升降单元(204)包括置于外壳主体(201)内部的盖板和穿过外壳主体(201)顶面的支杆，所述支杆能够带动所述盖板上下运动，所述升降单元(204)数量为2，分别设置于所述隔离单元(203)左侧和右侧。本实用新型应用于基于压浮法的不同单晶硅球的密度差值测量系统中，降低了测量过程中单晶硅球的相互波动影响，从而提高测量的精确度。