一种应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，包括上盖，法兰盘，密封圈，筒体，下盖，底座，上内芯，中内芯，下内芯以及筒体内填充物活性炭，硅胶，脱脂棉和定性滤纸。其中法兰盘和下盖与筒体焊接为一体，下内芯装在筒体内并在其上填充定性滤纸，定型滤纸上填充活性炭，活性炭上再填充定型滤纸，定型滤纸上再填充脱脂棉，脱脂棉上填充定型滤纸，然后在定性滤纸上装中内芯，中内芯上装上内芯，上内芯内填充硅胶，再在上内芯上填充定型滤纸，最后在法兰盘上装密封圈和上盖并用螺栓固定。本实用新型可以对气源进行干燥除尘除油处理，适合有气浮转台和气浮运动部件的测量检测仪器，可以提高仪器精度和使用寿命。