一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系统

摘要

本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系统，包括依次连接的集水池、PH调节池和助凝沉淀池，其中，助凝沉淀池中的上层清液依次抽至催化氧化池、水解酸化池、接触氧化池和回用收集池，助凝沉淀池底部污泥依次抽至污泥浓缩池和污泥压滤机。本实用新型所具有的有益效果是：(1)回收水质可直接回用作生产洗涤用水、厂区绿化、消防补充用水等；(2)整个处理过程流程短、占地小、能耗低，易于实现自动化控制，系统运行可靠，运行费用较低，真正实现污水、废水资源化，增加可利用的水资源，有利于实现废水无害化，防治水污染。