运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统

摘要

本实用新型涉及一种运动工件飞秒激光加工中椭圆运动曝光系统，属于飞秒激光加工技术领域。飞秒激光器、经衰减器、光快门、扩束镜、反射镜一、光阑、反射镜二、反射镜三、分束镜、聚焦物镜顺序光连接，数字摄像机和凸透镜位于分束镜上方，运动台位于聚焦物镜的下方，照明光源和反射镜位于运动台下方，椭圆运动工作台位于运动台上方。优点是结构新颖，在飞秒激光加工中易于实施，可以在工件作快速进给的过程中对工件中预期曝光的位置进行高效曝光。