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用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统及多晶硅生产装置

摘要

本实用新型提供了一种用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统及多晶硅生产装置。其中,还原尾气除尘系统包括对来自多晶硅还原炉的还原尾气进行净化处理的静电除尘结构。根据本实用新型的技术方案,利用静电除尘结构的静电除尘原理可以吸附还原尾气中的无定形硅等粉尘,有效避免了上述粉尘堵塞还原尾气口或者后续设备,从而保证了还原尾气管道的畅通。

著录项

  • 公开/公告号CN204746589U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2015-11-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国恩菲工程技术有限公司;

    申请/专利号CN201520461598.4

  • 发明设计人 孙强;万烨;严大洲;

    申请日2015-06-30

  • 分类号

  • 代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人赵囡囡

  • 地址 100038 北京市海淀区复兴路12号

  • 入库时间 2022-08-22 00:53:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-11-11

    授权

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