一种磁场旋转磁控柱弧靶

摘要

本实用新型公开了一种磁场旋转磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，传动机构，靶体，防水罩和磁轴。靶座包括大法兰，以及大法兰下部连接的屏蔽罩，大法兰上部的密封环、密封座和绝缘压环；分水套含带支架分水环、密封轴座，以及密封轴座的电极连接片和密封轴座内的带动磁芯部旋转轴；磁轴包括磁轭和装配在其槽内的磁体；防水罩由不锈钢圆管和两端可拆卸密封垫将磁轭的上下端密封；靶体由结构对称的靶材和用于密封水的端盖组成；电机带动大小齿轮传动组，进而带动磁轴匀速旋转。使用上述结构的磁场旋转磁控柱弧靶，有益于靶材利用率提高；极大地降低故障率，延长单次使用寿命；结构简单，方便装配及检修；融入一体化设计理念，利于快捷更换靶。