公开/公告号CN204555867U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-08-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国矿业大学(北京);
申请/专利号CN201520184951.9
发明设计人 于明江;
申请日2015-03-30
分类号
代理机构
代理人
地址 100083 北京市海淀区学院路丁11号
入库时间 2022-08-22 00:44:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B5/00 授权公告日:20150812 终止日期:20160330 申请日:20150330
专利权的终止
2015-08-12
授权
授权
机译: 表面位移测量方法和使用该表面位移测量装置的装置
机译: 光学表面位移检测装置,图案识别装置以及光学表面位移检测方法
机译: 相同使用的表面位移测量方法和表面位移测量装置