Z轴振镜组件的准直装置、Z轴振镜组件及准直系统

摘要

本实用新型涉及一种Z轴振镜组件的准直装置、Z轴振镜组件及准直系统。该Z轴振镜组件的准直装置，包括依次排列的激光器、准直扩束镜、第一准直光阑、第二准直光阑以及光斑位置定位仪，且第一准直光阑与第二准直光阑之间具有用于安装Z轴振镜组件的安装空间；其中，第一准直光阑与第二准直光阑的物理光路中心共线，以物理光路中心为三维直角坐标系中的Z轴，激光器能分别沿X轴及Y轴方向移动，准直扩束镜能分别沿X轴及Y轴方向移动，光斑位置定位仪能分别沿X轴及Y轴方向移动。上述Z轴振镜组件的准直装置具有较好的准直效果且能标准化。