公开/公告号CN204235267U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山恩斯克有限公司;
申请/专利号CN201420573665.7
发明设计人 入江洋介;
申请日2014-09-30
分类号B23Q7/04(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人陈伟
地址 215335 江苏省苏州市昆山市经济技术开发区黄埔江南路258号
入库时间 2022-08-22 00:32:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-01
授权
授权
机译: 动臂驱动装置,多臂机器人装置,电子设备处理系统以及电子设备制造系统中的基板搬送方法
机译: 无框模具成型机中的模具更换装置及模具搬送装置
机译: 基板处理装置以及基板的搬送方法以及基板处理装置中的基板的处理方法