一种PVD与HIPIMS制备超硬DLC涂层设备

摘要

本实用新型公开了PVD与HIPIMS制备超硬DLC涂层设备，采用多层膜复合技术，利用PVD过程与HIPIMS方法，通过阴极与阳极偏压调节和乙炔气体流量控制，设计一种工业化的制备类金刚石涂层设备，实现工件表面的超硬度类金刚石涂层设备，并使涂层具有超高硬度，高耐摩擦性能，高耐磨损性能和高自润滑性能；本实用新型涂层工艺简单，复合涂层条件精确可控，成膜质量高，性能稳定，产品成品率高，成本低廉；具有超高硬度和优异的自润滑抗摩擦磨损性能；本新型涂层设备设置有四套规模化涂层单元，生产质量稳定可靠、可应用于大批量生产，有利于降低生产成本，实现产业化。