法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-27
专利权的转移 IPC(主分类):G01J9/04 登记生效日:20160107 变更前: 变更后: 申请日:20140923
专利申请权、专利权的转移
2015-10-28
专利权的转移 IPC(主分类):G01J9/04 登记生效日:20150930 变更前: 变更后: 申请日:20140923
专利申请权、专利权的转移
2014-12-31
授权
授权
机译: 极紫外光产生装置,产生极紫外光的方法,集中脉冲激光束测量装置和测定集中脉冲激光束的方法
机译: 极紫外光产生装置,产生极紫外光的方法,集中脉冲激光束测量装置以及测定集中脉冲激光束的方法
机译: 测量振荡器频率稳定性的装置和使用该装置的方法