法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-10
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01J9/04 申请公布日:20141210 申请日:20140923
发明专利申请公布后的驳回
2016-02-10
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01J9/04 登记生效日:20160120 变更前: 变更后: 申请日:20140923
专利申请权、专利权的转移
2015-10-28
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01J9/04 登记生效日:20150921 变更前: 变更后: 申请日:20140923
专利申请权、专利权的转移
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J9/04 申请日:20140923
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 极紫外光产生装置,产生极紫外光的方法,集中脉冲激光束测量装置和测定集中脉冲激光束的方法
机译: 极紫外光产生装置,产生极紫外光的方法,集中脉冲激光束测量装置以及测定集中脉冲激光束的方法
机译: 用于测量振荡器的频率稳定性的方法和装置以及使用该方法制造振荡器的方法