法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B42D9/00 授权公告日:20141231 终止日期:20150807 申请日:20140807
专利权的终止
2014-12-31
授权
授权
机译: 带有微光学元件和阅读器的图像传感器
机译: 集成在基质中的微光学组件,制造在基质中的微光学组件的方法,微光学组件阵列和制造微光学组件阵列的方法
机译: 用于微光刻投影曝光设备的光学系统,微光刻投影曝光设备和用于微光刻制造微结构部件的方法