一种均匀扩散硼扩散炉反应气的结构

摘要

本实用新型公开了一种均匀扩散硼扩散炉反应气的结构，包括设置于石英舟上端的上隔板、设置于石英舟下端的下隔板、用于通入反应气的进气管、排出反应后气体的抽排管，上隔板上均匀设置有进气孔，下隔板上均匀设置有出气孔，进气管一端通入反应气，进气管的另一端位于上隔板的上端，抽排管的一端位于下隔板的下端，抽排管的另一端接入硼扩散炉的主抽排管；本实用新型采用在石英舟上下两侧放置隔板，为反应气设置有引导的预定路径，使反应气均匀分布于硅片的中间流道内，形成均匀扩散，有效解决了工艺过程中反应气扩散不均匀的问题。