CD标准片和CDSEM设备监测结构

摘要

本实用新型提出了一种CD标准片和CDSEM设备监测结构，CD标准片用于监测CDSEM设备的性能，所述CD标准片结构包括具有预定线宽的待测掺杂条和重掺杂层，所述待测掺杂条形成于所述重掺杂层之上。将重掺杂层和待测掺杂条均重掺杂P元素，使待测掺杂条以及重掺杂层均能够导电，从而使残留在所述待测重掺杂条的电荷转移至别处，减少对空气中颗粒的吸附，避免碳积效应，提高所述CD标准片的使用寿命，减少更换CD标准片的频率，降低生产成本。