一种承载砷化镓晶棒表面喷砂的运动装置

摘要

一种承载砷化镓晶棒表面喷砂的运动装置，它包括由下至上依次设置的底座、滑车以及承载车；该底座包括两条平行的第一导轨；该滑车滑动设于该第一导轨上，该滑车顶部设有两条平行的第二导轨，该第二导轨方向与该第一导轨方向垂直；该承载车滑动设于该第二导轨上，且顶部具有与晶棒形状相对应的半圆型凹部。本实用新型的运动装置操作简单，可以进行平稳的前后左右二维运动，在进行晶棒表面喷砂处理时，能解决承载晶棒运动和晶棒表面喷砂处理不均匀的问题，大大降低劳动强度，提高生产效率。