基于微通道板三维结构的高灵敏度气体传感器

摘要

本实用新型公开了基于微通道板三维结构的高灵敏度气体传感器，由检测模块和加热模块两部分组成；检测模块和加热模块之间通过导电浆料粘合；检测模块和加热模块分别设置有两个引线引出电极，分别为检测电极和加热电极，所述的检测模块和加热模块封装于封装管壳内，所述的封装管壳上共有至少四个电极；所述的检测模块，其结构自上而下依次为上电极、微通道板和下电极；所述的加热模块，其结构自下而上依次为隔热绝缘衬底材料、加热电阻线圈和绝缘薄膜。其有益效果是：大幅度提升气体传感器的灵敏度；微通道板的多孔道结构非常有利于被检测气体的顺利通过，可进一步提高器件的测试灵敏度和反应速度；增强了气敏器件的稳定性和可靠性。