公开/公告号CN203548295U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 新兴铸管阜康能源有限公司;
申请/专利号CN201320662026.3
申请日2013-10-24
分类号
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 830091 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州阜康市天池北街职专底商住宅楼4号楼(二区一段)
入库时间 2022-08-22 00:05:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04D27/00 授权公告日:20140416 终止日期:20151024 申请日:20131024
专利权的终止
2014-04-16
授权
授权
机译: 磁控靶溅射的磁控阴极
机译: 用于涂覆基底表面的磁控阴极由环形靶构成,该环形靶具有板状构造,该靶围绕布置为定子的第一轭部的中央部分布置
机译: 冷却系统,例如一种用于CD涂层的磁控阴极靶,具有一个扁平轴承环,该轴承环带有用于U形活塞四肢的凹槽,以在该环和活塞内部之间形成冷却通道