一维面内位移相移电子散斑干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种一维面内位移相移电子散斑干涉仪，它包括水平布置的光学平台，该光学平台的台面上布置有：用于固定受检物的测试架、激光发射装置、以及CCD摄像机，所述CCD摄像机与计算机电连接，所述测试架上设置有用于向所述受检物施加荷载的加载装置。本实用新型这种干涉仪具有结构简单、测量精度高、测量速度快的优点。