基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置

摘要

本实用新型属于多轴系统检测领域，为提供一种可实现高精度、低成本，能综合测量多轴系统几何误差的测量装置，实现多轴系统几何误差的综合测量，为此，本实用新型采用的技术方案是，基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置，包括：半导体激光器、准直缩束系统、四象限光电二极管QPD、成像透镜、1/4波片、光学自由曲面标准件、偏振分光棱镜PBS、图像探测器CCD；半导体激光器的激光经准直缩束系统、偏振分光棱镜PBS、1/4波片投射到光学自由曲面标准件上，光学自由曲面标准件反射出的反射光经1/4波片、偏振分光棱镜PBS反射再由成像透镜汇聚到四象限光电二极管QPD上。本实用新型主要应用于多轴系统检测。