一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的装置

摘要

本实用新型公开了一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的装置，包括精密零部件夹持装卸装置、清洗釜、超临界二氧化碳制备清洗装置、超声波换能清洗装置；所述超临界二氧化碳制备清洗装置通过输送管道的进口管和出口管连接至清洗釜内部，同时超声波换能清洗装置也整体设置在清洗釜内部，所述精密零部件夹持装卸装置带动被清洗件活动式伸缩于清洗釜内部清洗处与外部装卸处。本实用新型以超临界二氧化碳流体作为清洗介质，超声波空化振荡作用辅助其清洗，清洗前通过料框及磁力驱动装置装夹精密零部件，在清洗时超临界二氧化碳和超声波联合作用更容易清洗微孔及狭缝的精密零部件，同时改变分离器的压力值，可轻易分离出污物。