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一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器

摘要

本实用新型公开了一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器,它涉及有机化学技术领域,箱体的上端安装有上盖,箱体的两端分别安装有进水管、出水管,上盖上安装有进气管一、进气管二,气管一、进气管二分别与进气室一、进气室二连接,进气室一、进气室二的下端安装有反应室,反应室的下端安装有支柱,支柱上安装有传感器,箱体的底部安装有导流板,箱体的内壁设置有螺纹管道,螺纹管道上安装有喷射管;它使得冷却水形成湍流,流动时既有纵向扰动,又有旋转运动,彻底破坏了热边界层,并且流体在向前运动过程中连续改变方向,能使得冷却水顺利的流出循环,使用方便,操作简便。

著录项

  • 公开/公告号CN203487234U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2014-03-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 黑龙江大学;

    申请/专利号CN201320639771.6

  • 发明设计人 高婷;孙鸥;

    申请日2013-10-17

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号

  • 入库时间 2022-08-22 00:03:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/455 授权公告日:20140319 终止日期:20161017 申请日:20131017

    专利权的终止

  • 2014-03-19

    授权

    授权

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