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颗粒验测装置及颗粒验测系统

摘要

本实用新型公开了一种颗粒验测装置及一种颗粒验测系统,颗粒验测装置包括底座、采样管、采样头和过滤器,其中,采样管的底端与底座固定连接,采样管的顶端与采样头固定连接,过滤器通过密封环与采样头的上端密封连接,从而在工艺需求进行颗粒验测时,能够方便快捷的确定橡胶管路的状态,且该过滤器和密封环的成本较低,进而在保证了产品良率的同时,又降低了器件的生产成本。

著录项

  • 公开/公告号CN203479667U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2014-03-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201320475981.6

  • 发明设计人 王祺;潘军花;

    申请日2013-08-05

  • 分类号

  • 代理机构上海申新律师事务所;

  • 代理人竺路玲

  • 地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

  • 入库时间 2022-08-22 00:03:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-03-12

    授权

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