一种具有真空罩的动圈式磁浮平面电机

摘要

一种具有真空罩的动圈式磁浮平面电机，主要应用于半导体光刻设备中。该动圈式磁浮平面电机含有动子、定子、载物台、真空罩和真空泵。动子含有通电线圈阵列，通电线圈阵列与载物台连接；定子含有永磁体阵列和基座，永磁体阵列设置在基座上。通电线圈阵列悬浮于永磁体阵列的正上方，并与所述的永磁体阵列留有间隙。所述的动子和载物台设置在真空罩的内部；真空罩与基座密封连接。本实用新型不仅具有结构简单、紧凑、质心驱动、微动台动子惯量小等特点，而且由于将动子和载物台设置在真空罩内，从而在极紫外光刻时，避免了磁浮平面电机的灌封胶释放的一些气体对光刻产生的影响。