分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置

摘要

本实用新型所设计的主轴回转误差的电跳动在位测量装置，在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且其所在的圆周与被测回转体同轴，在第二电涡流传感器的轴向位置紧靠设有一个角度传感器，上述所有传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。主轴回转误差的电跳动在位测量方法，通过调节装置使各个传感器处于合适位置。