公开/公告号CN203346706U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 常州瑞昇科技有限公司;
申请/专利号CN201320344521.X
申请日2013-06-15
分类号
代理机构北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曾少丽
地址 213000 江苏省常州市新北区太湖西路25号
入库时间 2022-08-21 23:58:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-18
授权
授权
机译: 用于制造半导体装置的曝光系统的电容计跟踪装置,使用该电容计跟踪装置的半导体装置的表面跟踪方法,包括该跟踪装置的整平装置以及整平方法
机译: 紧急救援系统,能够通过自动旋转监控摄像机来跟踪信号传输位置
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