基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统

摘要

一种基于探测具有纳米级表面微结构的参考模型的测量系统，实现纳米加工与制造中运动部件的精确定位。包括具有纳米级表面微结构的参考模型、测量探头、反馈电路、压电陶瓷管、压电陶瓷管Z向电压处理模块和结果显示模块。其特征是系统工作时，扫描探针对参考模型进行扫描，探头利用光杠杆原理检测到探针振幅的变化后，通过反馈电路发出反馈信号，使承载参考模型的压电陶瓷管的Z向电压随之变化，以保证探针振幅的恒定，不断变化的压电陶瓷管Z向电压反映了参考模型的形貌，利用压电陶瓷管Z向电压处理模块对其进行处理，并将测量结果通过结果显示模块显示出来，由于利用到了内插技术，可得到更高分辨率和精度的测量结果，可广泛应用于纳米级、甚至亚纳米级的测量及定位。