半导体行业工厂节水用水系统

摘要

本实用新型为一种半导体行业工厂节水用水系统，其特征在于：所述的节水用水系统包括顺序连接的预处理过滤器和超纯水UPW系统；所述的超纯水UPW系统的一路为企业半导体生产用水，顺序连接第二收集槽和膜过滤器，另一路与第一收集槽连接；所述第一收集槽的出水分为三路，一路为企业冷却塔系统补水用水，一路为企业生活区冲厕所用水，还有一路为预处理过滤器的反冲洗用水；所述的膜过滤器还与超纯水UPW系统中的第二级反渗透器连接，将所述的半导体生产用水进行固液分离后的水回收作为第二级反渗透器补给用水。本实用新型采用运筹学这一数学和社会科学交叉的学科理论，从水量平衡和适用水质角度建立水资源管理模型，实现水资源的重复利用。