法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D61/18 授权公告日:20130821 终止日期:20170412 申请日:20130412
专利权的终止
2013-08-21
授权
授权
机译: 纳米纤维膜或超细纤维膜的吸收剂的处理程序,水膜分离剂或超细纤维膜的处理方法以及用于水处理的方法和装置
机译: 微通道中试样的预处理方法,用于执行预处理方法的预处理设备以及装有该预处理设备的分析系统
机译: 用于光刻设备的防护膜的制造方法,用于光刻设备的防护膜设备,光刻设备,器件制造方法,防护膜处理设备和防护膜处理方法