法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/63 授权公告日:20130724 终止日期:20140315 申请日:20130315
专利权的终止
2013-07-24
授权
授权
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 激光诱导的等离子体光谱内窥镜设备和激光诱导的等离子体光谱仪
机译: 带有双CCD光谱仪的激光诱导击穿光谱仪(LIBS)设备