一种真空灭菌柜用的过氧化氢气体浓度检测装置

摘要

本实用新型公开了一种真空灭菌柜用的过氧化氢气体浓度检测装置。本实用新型包括真空腔体、隔膜阀、流量计、过氧化氢气体浓度检测传感器、抽气泵、催化分解装置。隔膜阀的输入端与真空腔体联通，隔膜阀的输出端与催化分解装置的输入端连接，催化分解装置的输出端与抽气泵连接，流量计和过氧化氢气体浓度检测传感器依次设置在隔膜阀与催化分解装置之间。本实用新型能有效测定真空腔体内的过氧化氢浓度，且排放无污染。