用于块状多晶硅加热的电阻炉

摘要

本实用新型公开了一种用于块状多晶硅加热的电阻炉，其包括：底座；设置在所述底座上的炉体；设置在所述炉体内的电阻丝；以及设置在所述炉体两端的炉门；所述炉体内形成有炉膛，所述炉膛内设置有托盘，所述托盘包括石英材质的用以承托硅料以对所述硅料进行加热的承托面和支撑所述承托面的托盘架。本实用新型成本低、制造工艺简单、处理量大，适应工业化大批量生产。