首页> 中国专利> 一种多晶硅片清洗机热水供应方式

一种多晶硅片清洗机热水供应方式

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片清洗机热水供应方式,既清洗机和大功率热水器通过水泵连接,连接管道为PPR管。水泵将热水从热水器中抽出注入清洗机中。节约了人工,保证了操作人员的安全。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B3/04 授权公告日:20130410 终止日期:20150924 申请日:20120924

    专利权的终止

  • 2013-04-10

    授权

    授权

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号