Mirau型物镜及使用该物镜的干涉显微镜和测量系统

摘要

一种Mirau型物镜，包括显微镜头、第一干涉板和第二干涉板；第一干涉板和第二干涉板平行放置在显微镜头的下方，且与显微镜头的光轴垂直；第一干涉板在显微镜头和第二干涉板之间；第一干涉板上表面中心设有反射圆斑；第二干涉板的上表面镀有分光膜，该分光膜的反射率是10%～30%。一种使用所述Mirau型物镜的Mirau干涉显微镜，包括光源、聚光镜、视场光阑、单色滤光片、第一分光镜、第二分光镜、工作台和所述Mirau型物镜。一种使用所述的Mirau干涉显微镜的测量系统，包括Mirau干涉显微镜、计算机和摄像机。本实用新型的光路不失调能长期稳定工作，并且实现数字化自动控制的Mirau（米洛）干涉显微镜，而且实现了10