一种波分复用器件及其在高速光器件中的应用

摘要

本实用新型揭示了一种波分复用器件及其在高速光器件中的应用，所述波分复用器件包括硅衬底，所述硅衬底上包覆有二氧化硅层，所述二氧化硅层上包覆有光栅层，所述光栅层上刻蚀有硅光子表面光栅。光器件是通过在表面光栅的上方设置光芯片，光芯片与器件之间设置透镜，通过光耦合连接所述光接收装置与波分复用器件。具有波分复用器件形成的光器件具有尺寸紧凑、成本低、易于批量生产等优点；同时，批量生产时，无需解离光芯片，通过垂直光耦合直接检测产品的质量，直接降低了生产成本。光栅层根据采用不同的晶圆而由不同的组成，结合光接收器的位置，使得光接收装置与复用器件具有较低的耦合损耗。