一种单臂旋转拾取臂粘晶结构

摘要

本实用新型涉及半导体（集成电路）制造后道工序——粘晶工序中取放芯片用的一种单臂旋转拾取臂粘晶结构，包括伺服电机和由电机连接的旋转轮，还包括四连杆、拾取臂、摆臂转轮、两根同心轴、同步带轮、同步带，拾取臂轴端安装在同心轴上，从动端通过四连杆连接在旋转轮上，旋转轮通过同心轴连接摆臂转轮，摆臂转轮由伺服电机通过同步带控制，驱动拾取臂进行30度往复摆动。本实用新型采用30度单拾取臂结构，使旋转摆臂拾取粘片替代常用的工作台和送料台平放，拾取臂远距离拾取粘片。效率提高30%，结构简单，成本低，精度高。