一种采用膜过滤二段分离方式的废砂浆在线回收设备

摘要

一种采用膜过滤二段分离方式的废砂浆在线回收设备，包括一号分离机，二号分离机，新砂浆罐，调试砂浆罐，一次分离液罐，废砂浆罐，再生砂浆罐，分离废弃物罐，二次分离液罐，膜过滤设备；其中：一号分离机同时与调试砂浆罐、一次分离液罐和废砂浆罐连通，二号分离机同时与一次分离液罐、分离废弃物罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和再生砂浆罐连通，膜过滤设备安装在二次分离液罐中。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，降低了企业的生产成本。